当前大量使用的机械真空泵,即使设计得最好,相向运动的零件间配合精度即使达到百分之几毫米,在它达到极限真空时,也难以阻止气体由高真空端向入口端“突破”返流。油封机械真空泵就是用油来使相向运动的零部件和排气阀零件间均密封起来,从而使泵能达到较高的真空度。这时它们的密封度就是对油而不是对空气来言,高压气体反“突破”的机会就少得多,密封性能也就好得多。
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